半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导高端定制测封配套工程涉重废水处理方法——MVR被迫间歇零排该项目
顶目的背景
光电器件中低端公测建设内容,大小150立米米/天,是首批光电器件公测一起涉重化工废水处理零排建设内容。公测教学环节的镀镍、镀铜、引线层次结构家电清洗会行成含镍含铜化工废水处理,项目追求"无尾水外排",产水全部都使用于产线。
水质监测有特点与瓶颈问题
污废水 以含镍相结合(质量浓度10–100毫克/升),伴进样器铜、锌,pH震荡大(2–12),同时还有光刻胶农药残留的少量出无机物。测封厂地点紧,的要求处里装置占地面小;零排暗示着浓水没法运输多,需求网上蒸馏结晶体前馈。
办理工学艺规划
整体性走"分质回收利用 → 预清理除杂 → 生物奠定除镍 → 滤出 → UF+多级RO → MVR强制性嵌套循环减压蒸馏 → 冷却水水使用":
含镍线先调pH到10–11,污泥脱水氢腐蚀的钠制成Ni(OH)₂析出,再加上加硫钠程度收集稳定度镍(加硫镍Ksp比氢腐蚀的镍更小,能让镍压到0.1毫克/升低于);
水解溢水经多导电介质脱水+保安队脱水后进UF,再进一級RO,产水同时回产线刷洗;
RO浓水(含盐+残渣天价属)进MVR直接循坏汽化器,直接循坏能扛高含盐水垢,汽化器手机一键加速线上清晰,不适合堵;
MVR冷凝水水离开回收利用池体,蒸发掉残液委外填埋或为危险废物加工,这个生产区无液态氨外排。
重要性设备独到之处反映
MVR硬性反复的想必寻常降膜化掉,反复的气速高、热传递面很不容易结镍盐/碳酸盐垢,适用于公测此种"供水量不算太大但污水水质杂"的3d场景;一身化撬装构思占地面积比传统性化掉塘+多效化掉预案小60%这些;特殊难闻气味侧生活设施菌物滤池,把调结池和飞灰间的特殊难闻气味采集后化学降解成CO₂和水,减少公测厂紧靠会议室区的特殊难闻气味申诉。
加工处理成果与效益分析
冒水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,强于《主轴电镀环境工业废气排污标准》表三;都是150每立方米/天产水中水回用于首测产线擦洗,带替等量生鲜水;危险废弃物(多效蒸发残液+污泥处理)量比传统文化"放置+排污"的模式减约70%。对富士康侧,首测活动环保标准审批卡点打伤通;