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天津某半导厂产量流程中直接生产高硅生产污水处理方法(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟生产污水处理方法(F⁻ 200-300mg/L)。有两种生产污水处理方法混合物后常建立氟硅酸悬浊液,过去的化学水解法不易于稳定的符合规范标准。活动特殊要求微信同步除掉硅和氟(释放规范标准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废液成分表及源头
关键部分
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
特征
:晶圆刻蚀生产废水处理方法、CMP研磨抛光生产废水处理方法、机器设备清洗水
处置技术注意事项
信息化沉淀自己价段
:
有级表现池
:
1、级加药Ca(OH)₂提取CaF₂和CaSiO₃滤渣;
其次级加药PAC(缔合氯化铝)淬炼斜管沉淀池。
固液提取时间段
:
反渗透装置控制系统
:分为0.02μm粒径膜零件截流氢氧化铁硅和微细乳浊液物。
宽度脱氟关键时期
:
化学活化氧化的铝物理吸附塔
:多余氟铝离子吸附物彻底清除。
进而视觉效果
留水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远高于政府细则。
超滤膜系统软件通量动态平衡在15LMH,生物学的洗涤寿命不断增加至60天。
厌氧颗粒污泥经压滤后含水量率<65%,可按一般的废弃物救治。