该晶圆制做厂隶属于苏北地区划分,重要产生8屏幕尺寸光电器件晶圆,每日废渣直接消耗量下跌约800吨。在产生过程中 中选择海量氢佛酸实施晶圆蚀刻,造成废渣中氟化物密度达到200-300mg/L,远超国家的直接排放物规则(10mg/L下列)。
工业废水物质及來源
化工废水通常产于6个的环节:
晶圆蚀刻工艺技术
:含高氨水浓度氟化物(HF)、硝酸钠及一些天价属
化工机械性拋光(CMP)生产废水
:含纳米技术级硅粒子、有机酸络合剂
设施除污生产废水
:含异丙醇、高锰酸盐指数等有机酸物
除理新工艺步骤
运用"生物沉积+混凝土沉积+深度1过滤清洁"三级职业资格证书除理系统的:
4级正确处理
:污泥脱水氯化钙和氢阳极氧化钙,生成氟化钙沉淀物,氟化物的还原率达85%
一级办理
:增加PAC(整合氯化铝)和PAM(PP酰胺),祛除溶液态环保问题物
三级职业资格证书进行处理
:可以通过多有机溶剂过虑器和化学活化炭吸附剂,喷水氟化物含量稳定性在8mg/L如下
关键点主设备主要包括:pH全自动调控制系统、斜管沉定池、板框刮刀离心机(废水脱水过滤)。
结果治疗效果
投资项目启用三年期监测方案动态数据凸显:
氟化物分別浓度值:7.2mg/L(不超一个国家细则)
COD彻底清除率:92%
污水含水量率:≤65%
年回收并氟化钙副企业产品约150吨,进行资源的化充分利用