某半导体技术厂在生产制造时候中便用硝酸银系定影液,所产生高溶液浓度含NOx废液,日正确日产量50吨。废液中含NO2-达到2000mg/L,且具有刺激性轻微有机会光刻胶化学成分,正确办理一定难度比较大的。
2. 生活污水含量及来源于
成像工艺残液(关键危害源)
晶圆的清洗污水
气体洗條塔排水口
3. 处置方法流程步骤
通过"专业氧化物+多级生物制品治理"信息化流程:
三氧腐蚀
:经由臭氧杀菌形成器引发O3,将难挥发无机物化解为小碳原子物资,同一将NO2-氧化的为NO3-。
生物体膜发应器(MBR)
:
弟一级:缺痒的环境下添加甲醇算作碳源,力促反硝化细菌反响
然后级:好氧生物技术膜进每一步可降解充分物
电分析化学深度1整理
:选择钛基耐磨涂层电级,进行钛电极使用充分转换稳定度破坏物。
4. 最终能够功效
NOx总氮调至8mg/L一下
COD平稳在30mg/L时间内
废气回收率达60%
模式启用耗电掌控在3.5kWh/吨水,较民俗工艺设备节约20%。